Die Vakuum-Beschichtungstechnik hat für alle Bereiche von Forschung und Industrie große Bedeutung erlangt. Bis vor wenigen Jahren beschränkte sich die industrielle Nutzung auf die Flachglas-, Werkzeug- und Halbleiter-Fertigung. Heute gehört auch die Massenproduktion von Handygehäusen, CDs und CDROMs, sowie Displays aller Art dazu. Auch für mittelständische Unternehmen ist die Herstellung oder Veredelung von Produkten mittels Vakuum-Beschichtung betriebswirtschaftlich interessant geworden. Dementsprechend intensiv wird Grundlagenforschung betrieben. Immer öfter stehen somit Wissenschaftler oder Studenten, Projektingenieure oder Betriebsmittel-Techniker vor der Aufgabe, Vakuumanlagen konzipieren, umbauen, beschaffen oder beurteilen zu müssen.
An diesem Punkt werden sie von ihrer Ausbildung und der Literatur weitgehend allein gelassen. Zu den Grundlagen gibt es fast nur wissenschaftliche Werke und zu den Anwendungen nur spezifische Informationen über die jeweilige Apparatur.
Deshalb soll der vorliegende Text die genannte Zielgruppe von Technikern und Wissenschaftlern zum schnellen und effektiven Überblick und ggf. zum Layout einer funktions-tüchtigen Anlage führen. Dabei werden Anwendungen vom Fein- bis zum Hochvakuum betrachtet. Viele Darstellungen gelten nicht nur für Beschichtungsanlagen sondern auch für Vakuumanlagen im Allgemeinen.
Berechnungen und theoretischer Ballast sind auf ein Minimum reduziert. 60 Abbildungen helfen zum schnellen Verständnis. Die straffe Gliederung sorgt dafür, dass man sowohl alle Aspekte systematisch durcharbeiten, aber auch stichpunktartig Informationen abfragen kann .
Das Kompendium ist bei Wiley-VCh als Sonderdruck der Zeitschrift “Vakuum in Forschung und Praxis” erschienen und wird an deren Abonnenten sowie auf Messen und Konferenzen verteilt.
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Das am Text orientierte Lieferquellenverzeichnis (aktualisiert, in Englisch) finden Sie hier. -
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Rev. 11/09
